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氧化鋁坩堝在單晶硅拉制中的應用:雜質污染控制與長晶效率提升

2025-05-06 [731]
  在單晶硅拉制過程中,氧化鋁坩堝憑借其高熔點、良好的耐化學腐蝕性和熱穩定性,成為關鍵容器材料。然而,其應用需重點解決雜質污染控制與長晶效率提升兩大問題。
  雜質污染控制方面,氧化鋁坩堝需應對來自原料、坩堝材料及工藝環節的污染風險。例如,原料中的金屬雜質(如Cu、Fe等)可能通過與坩堝接觸引入單晶硅中。此外,氧化鋁坩堝在高溫下可能釋放微量氧化物,污染熔體。為此,需采取嚴格措施:選用高純度氧化鋁原料制備坩堝,降低雜質本底;在坩堝表面涂覆保護涂層(如Y?O?涂層),減少熔體與坩堝的直接接觸;優化拉晶工藝,采用高純氬氣保護,減少氧、碳等雜質引入;控制爐內氣氛為弱氧化性,避免坩堝過度氧化導致雜質釋放。
  長晶效率提升方面,氧化鋁坩堝的設計與工藝優化至關重要。通過改進坩堝形狀與尺寸,可優化熔體對流,促進熱量均勻傳遞,減少晶體生長缺陷。例如,采用大尺寸坩堝配合高氬氣流量,可加速SiO揮發,降低氧雜質含量。同時,引入導流罩技術,精確控制氬氣流動路徑,減少氣塵雜質對晶體生長面的污染,顯著提高成晶率。此外,優化坩堝預熱與冷卻工藝,避免溫度驟變導致的熱應力,延長坩堝使用壽命,進一步提升生產效率。
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